自己展開ファイル「SW602994_EloMultiTouch_9.0.1.exe」を実行してください。

When done unzipping open...のチェックマークをはずしてください。

[Unzip]ボタンをクリックし、ファイルを展開してください。

管理者権限でコマンドプロンプトを開きます。

先ほど展開したフォルダに移動してセットアッププログラム(Setup.exe)を次のパラメータを付加して実行します。
Setup.exe /s

セットアップ・プログラムで使用できる全てのパラメータを閲覧するにはSetup.exe /?として、実行してください。